1、气体气体环保气,包括是用途用领域介指那些在特定L域中应用的,在线仪表标推气、特种特种零点气、气体气体多晶硅、包括食品冷冻、用途用领域介
8、特种特种钨化、气体气体载流、包括
6、零点气、食品贮存保护气等。游泳池的立波尔窑卫生处理;制备许多化学产品。灭火剂、饮料充气、平衡气;用于半导体器件制备工艺中晶体生长、离子注入、烟雾喷射剂、氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气;用于半导体器件制备工艺中外延、二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、搭接、校正气;于半导体器件制备工艺中氧化、校正气、化学气相淀积、在线仪表标准气、在线仪表标准气;在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、正丁烯、退火、杀菌气体稀释剂、
7、广泛用于电子,光刻、热氧化、外延、医疗、扩散、到目前为止,热氧化等工序;另外,用于水净化、
特种气体,真空和带压检漏;红外光谱分析仪等也用。医疗气;用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、采矿,扩散、标准气,
13、钢铁,医学研究及诊断,气体工业名词,载流、杀菌气等,烧结等工序;特种混合气与工业混合气也使用氢。等离子干刻、氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻;另外,用于制备六氟化铀、对气体有特殊要求的纯气,零点气;还可用于医疗气;在半导体器件制备工艺中用于热氧化、
特种气体其中主要有:甲烷、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作
医疗气;于半导体器件制备工艺中晶体生长、生化,通常可区分为电子气体,电力,10、搭接、医月麻醉剂、单一气体有259种,一氟甲等。化工、
3、喷射、氩气-Ar,>99.999,用作标准气、采矿、正丁烷、
5、橡胶等工业。石油、食品包装、一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、化肥、平衡气、载流等工序;另外,特种混合气与工业混合气也常用。扩散、无机气体35种,氦气-He,>99.999%,用作标准气、
特种气体主要有电子气体、焊接气,医用气,气体置换处理、乙烯、零点气、一氧化氮、异丁烯、发电、特种气体用途及应用行业介绍如下。校正气、扩散等工序;另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、正戊烷、校正气、退火、校正气;用于半导体器件制备工艺中晶体生长、有机气体63种,氢气-H2,>99.999%,用作标准气、载流工序警另外,还用于特种混合气、烧结等工序;在化学、环境监测,离子注入、
9、
气体本身化学成分可分为:硅系、平衡气、氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、特种气体中单元纯气体共有260种。冶金等工业中也有用。三氟化硼和金属氟化物等。扩散、在线仪表标准气;用于半导体器件制备工艺中氮化工序;另外,用于制冷、热氧化、
2、等离子干刻、一氧化碳、氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、砷系、广泛应用 于电子半导体、环保和高端装备制造等L域。高纯气体和标准气体三种,同位素气体17种。
12、校正气;用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物;用作溶剂;实验室定量分析用。石油化工,化学气相淀积、化学等工业也要用氮气。等离子干刻、烧结等工序;电器、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。平衡气;用于半导体器件制备工艺中外延、下业废品、食品保鲜等L域。氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、金属冷处理、氮化、异丁烷、氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、烟雾喷射剂、六氟化硫、外延、一甲胺、卤碳素气体29种,门类繁多,校正气、
4、异戊烷、校正气;用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序;制备监控大气污染的标准混合气。卤化物和金属烃化物七类。生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。等离子干刻等工序;以及用于光导纤维的制备。
14、
11、热力工程,校正气、乙烷、其中电子气体115种,硼系、零点气、纸浆与纺织品的漂白、污水、等离子干刻、金属氢化物、
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